1200單溫區3路供氣低真空CVD系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。

適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

技術參數：

真 空 管 式 爐	產品型號	CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
	爐管材質	高純石英
	爐管直徑	50mm（可選配60mm、80mm、100mm）
	爐管長度	800mm
	爐膛長度	440mm
	加熱區長	400mm
	恒溫區長	200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	LCD
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	法蘭接口	1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
供 氣 系 統	產品型號	CY-3Z
	氣體通道	3通道
	測量部件	氣體質量流量計
	測量量程	A通道：0～100SCCM    H2氣	備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
		B通道：0～300SCCM    N2氣
		C通道：0～500SCCM    Ar氣
	測量精度	±1.0%F.S
	管道耐壓	3MPa
	工作壓差	50～300KPa
	連接管道	304不銹鋼
	控制閥門	304不銹鋼針閥
	接口規格	進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
排 氣 系 統	機械泵	旋片泵
	抽氣速率	1.1L/S
	排氣接口	KF16
	真空測量	電阻規
	極限真空	1.0E-1Pa
	供電電源	AC:220V 50/60Hz
	抽氣接口	KF16

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